隨著國家對火電廠及鍋爐污染物排放的要求越來越嚴格，廢氣治理中脫硫脫硝已成為控制煙氣污染物技術的主要方式，其燃燒過程排放的NOx、SO2等污染物造成嚴重的霧霾大氣污染，危害人類健康。對NOx的控制廣泛選擇的是催化還原法（SCR）和非催化還原法（SNCR）傳統脫除技術方法，運行費用高，難以達到國家排放標準。

臭氧脫硝洗滌作為一種最先進脫硝工藝，利用臭氧作為清潔的強氧化劑，可以快速有效地將煙氣中NOx的主要組成是NO（占95%）氧化到高價態。而高價態的NO2、N2O5等可溶于水和吸收液產生HNO2和HNO3，簡易溶解回收，效率有很大提高，從而促進SO2氧化吸收，利于SO4根離子的形成，達到同時脫硫脫硝的目的。目前利用臭氧進行脫硫脫硝在廣泛應用階段。

臭氧投加系統設立在引風機出風口與煙囪進風口之間。電除塵后的煙氣經引風機被送入洗滌塔的進風口，煙氣在塔內由下而上首先進入水噴淋脫硝凈化區，經吸收液多層循環噴淋后，90%以上的NOx氣體在此凈化區將被脫除。它吸附NOx后生成硝酸鹽和HNO3；

塔內煙氣一級脫硝后繼續向上進入二次脫硝凈化區。在這一區段內，煙氣中的NOx氣體、酸霧和微小顆粒，重金屬被二次洗滌吸收進一步凈化，幾乎所有的大氧化物在這一區域全部吸收凈化。

煙氣經二級脫硝凈化后進入除霧區，經除霧器除去煙氣中大于μm的霧粒，使煙氣中的水分含量達到75mg/L以下，經除霧脫水后的潔凈煙氣直接進入煙囪，排入大氣。 受噴淋液中的水和堿液被回收儲水池，簡單處理后繼續循環回收利用，循環使用達到一定濃度后送往當地水處理廠進行處理。出口煙氣的SO2、NO濃度低于環保部門提出的控制指標。